-
1 ALD
обнаружение течи с помощью акустической системы
—
[А.С.Гольдберг. Англо-русский энергетический словарь. 2006 г.]Тематики
EN
осаждение атомарных слоев
Осаждение атомарных слоев, метод осаждения, при котором осаждение каждого атомарного слоя материала управляется предварительно осажденным слоем исходного реагента; исходные реагенты и различные компоненты пленки вводятся попеременно; особенности метода – 100 %-ое покрытие за один этап и очень хорошая конформность; метод используется, например, при осаждении разных диэлектриков для создания МОП-затворов.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Англо-русский словарь нормативно-технической терминологии > ALD
-
2 atomic layer deposition
осаждение атомарных слоев
Осаждение атомарных слоев, метод осаждения, при котором осаждение каждого атомарного слоя материала управляется предварительно осажденным слоем исходного реагента; исходные реагенты и различные компоненты пленки вводятся попеременно; особенности метода – 100 %-ое покрытие за один этап и очень хорошая конформность; метод используется, например, при осаждении разных диэлектриков для создания МОП-затворов.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Англо-русский словарь нормативно-технической терминологии > atomic layer deposition
-
3 ALCVD
химическое осаждение атомарных слоев из паров
То же, что осаждение атомарных слоев
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Англо-русский словарь нормативно-технической терминологии > ALCVD
-
4 atomic layer chemical vapor deposition
химическое осаждение атомарных слоев из паров
То же, что осаждение атомарных слоев
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Англо-русский словарь нормативно-технической терминологии > atomic layer chemical vapor deposition
См. также в других словарях:
осаждение атомарных слоев — Осаждение атомарных слоев, метод осаждения, при котором осаждение каждого атомарного слоя материала управляется предварительно осажденным слоем исходного реагента; исходные реагенты и различные компоненты пленки вводятся попеременно; особенности… … Справочник технического переводчика
химическое осаждение атомарных слоев из паров — То же, что осаждение атомарных слоев [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики полупроводниковые приборы EN ALCVDatomic layer chemical vapor deposition … Справочник технического переводчика
